甬江实验室采购单片式化学清洗机等设备项目-国际招标

受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。

1. 招标条件

项目概况：甬江实验室因发展需要，需采购单片式化学清洗机1套、全自动去胶剥离机1套、晶圆清洗机1套。

资金到位或资金来源落实情况：项目所需资金已经落实。

项目已具备招标条件的说明：项目已具备招标条件。

2. 招标内容：

招标项目编号：0762-2440CBNB2021

招标项目名称：甬江实验室采购单片式化学清洗机等设备项目

项目实施地点：中国浙江

招标产品列表（主要设备）：

序号 货物名称 数量 简要技术规格 备注

1 单片式化学清洗机 1套 主要用于成膜前/后清洗、刻蚀前/后清洗、离子注入前/后清洗、扩散前/后清洗、标准RCA清洗、晶圆背面清洗，并兼容非金属去胶工艺等。 /

2 全自动去胶剥离机 1套 主要用于微纳器件Lift-off制备工艺中，用来去除多余的光刻胶及胶上的金属，保留未被光刻胶覆盖区域的金属图形。 /

3 晶圆清洗机 1套 主要用于包括晶片炉管前后、化学气相沉积（CVD）前后、物理气相沉积（PVD）前后、化学机械拋光（CMP）前后，以及晶圆背部的水洗工艺，同时用于对外来晶圆的高压水洗、刷片清洁等水洗工艺。 /

*备注：投标人必须对表中所有货物进行投标，否则作无效标处理。

3. 投标人资格要求

投标人应具备的资格或业绩：投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书；

是否接受联合体投标：不接受；

未领购招标文件是否可以参加投标：不可以。

4. 招标文件的获取

招标文件领购开始时间：2024年7月15日

招标文件领购结束时间：2024年7月22日

招标文件领购地点：宁波市；或在线购买

招标文件售价：每标段售价500元人民币或80美元，售后不退【邮购须另加50元人民币（国内）或40美元（国外）】。

特别提示：供应商付款后应及时将汇款底单直接传真或发邮件至我司前台标书发售人员，并在底单上注明需要购买标书的项目编号、联系人、手机号及邮箱，如未按此要求操作，供应商将有可能不能及时收到招标文件，请给予配合。

5. 投标文件的递交

5.1投标截止时间（开标时间）：2024年8月6日9时00分（北京时间）

5.2投标文件送达地点：宁波市

5.3开标地点：宁波市

友情提醒：报名前与下方联系人索取投标登记表，以及办理后续事宜。

联系人：袁 先 生

手 机：13021066931

邮 箱：13021066931@163.com