沈阳仪表科学研究院有限公司电子束蒸发设备采购项目公开招标

公告发布时间：2024年8月20日

1.招标条件

本招标项目为电子束蒸发设备采购项目，招标人为沈阳仪表科学研究院有限公 司，资金来源为国企自筹资金。该项目己具备招标条件，现对电子束蒸发设备采购 项目进行公开招标。

2.项目概况与招标范围

2.1招标内容：电子束蒸发设备1套，利用电子束给材料加热，使材料在高真 空下蒸发至基片表面，形成薄膜；最高限价220万元。

2.2主要技术参数

2.2.1 1ift-off模式下,6时wafer一次可加工不少于9片；

2.2.2蒸发厚度均匀性：片内5%以内，片间5%以内，批次3%以内（去边5mm测量）；

2.2.31ift-off和行星模式下的转盘采用磁流体直驱方式，减少机械传动，增加设备稳定性；

2.3交货期：6个月内。

2.4交货地点：沈阳市浑南区浑南东路49一29号。

3.投标人资格要求

3.1投标人应具有独立法人资格；

3.2代理商或经销商参与投标应具有制造商授权；

3.3投标人同类产品在客户端无危险事故记录；

3.4本次招标不接受联合体投标。

4.招标文件的获取

4.1发售时间：2024年8月21日9：00时至2024年8月27日16:00时（北 京时间），节假日除外。

4.2招标文件每套售价500元，售后不退。

5.投标文件的递交

5.1 投标文件递交的截止时间为2024_年9月12日14时30分前现场递交沈阳市

友情提醒：报名前与下方联系人索取投标登记表，以及办理后续事宜。

联系人：李 工 

电 话：17610398736(微信同号)

邮 箱：17610398736@163.com